Titan Pipe Target (Mục tiêu titan dạng ống)
⚙️ Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn
| Thông số |
Giá trị / Phạm vi |
| Thành phần |
Ti ≥ 99.5% – 99.95% |
| Dạng |
Ống tròn (Rotatable / Pipe Target) |
| Đường kính ngoài (OD) |
125 – 150 mm |
| Đường kính trong (ID) |
100 – 120 mm |
| Chiều dài |
500 – 2500 mm |
| Mật độ |
≥ 4.51 g/cm³ |
| Nhiệt độ nóng chảy |
1,668°C |
| Độ cứng |
~160 HV |
| Độ nhám bề mặt (Ra) |
≤ 1.6 μm |
| Phương pháp liên kết |
Bonded lên ống Cu hoặc Ti |
| Cấu trúc vi mô |
Polycrystalline (đa tinh thể) |
Ti Pipe Target (Titanium Pipe Target) là vật liệu mục tiêu dạng ống (rotatable target) được sử dụng phổ biến trong công nghệ phún xạ magnetron sputtering PVD.
Target được sản xuất từ Titan (Ti) tinh khiết ≥99.95%, có độ bền cao, dẫn nhiệt tốt và ổn định trong môi trường chân không cao.
SHS Material Vina cung cấp Ti Pipe Target chất lượng cao, tương thích với nhiều hệ thống rotating magnetron cathode của Trung Quốc, Hàn Quốc, Nhật Bản và Châu Âu.
Gửi yêu cầu tư vấn
🔹 Giới thiệu sản phẩm
Ti Pipe Target (Titanium Pipe Target) là vật liệu mục tiêu dạng ống (rotatable target) được sử dụng phổ biến trong công nghệ phún xạ magnetron sputtering PVD.
Target được sản xuất từ Titan (Ti) tinh khiết ≥99.95%, có độ bền cao, dẫn nhiệt tốt và ổn định trong môi trường chân không cao.
SHS Material Vina cung cấp Ti Pipe Target chất lượng cao, tương thích với nhiều hệ thống rotating magnetron cathode của Trung Quốc, Hàn Quốc, Nhật Bản và Châu Âu.
⚙️ Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn
| Thông số |
Giá trị / Phạm vi |
| Thành phần |
Ti ≥ 99.5% – 99.95% |
| Dạng |
Ống tròn (Rotatable / Pipe Target) |
| Đường kính ngoài (OD) |
125 – 150 mm |
| Đường kính trong (ID) |
100 – 120 mm |
| Chiều dài |
500 – 2500 mm |
| Mật độ |
≥ 4.51 g/cm³ |
| Nhiệt độ nóng chảy |
1,668°C |
| Độ cứng |
~160 HV |
| Độ nhám bề mặt (Ra) |
≤ 1.6 μm |
| Phương pháp liên kết |
Bonded lên ống Cu hoặc Ti |
| Cấu trúc vi mô |
Polycrystalline (đa tinh thể) |
💡 Đặc điểm nổi bật
-
Hiệu suất phún xạ cao, plasma ổn định và phân bố đều.
-
Tuổi thọ target cao, mài mòn đồng đều nhờ chuyển động quay liên tục.
-
Dễ tạo các lớp phủ hợp chất TiN, TiCN, TiAlN, TiO₂ với màu sắc đa dạng (vàng, tím, đen, xanh lam,…).
-
Độ bám dính và độ cứng cao (1800–3200 HV), chịu mài mòn và chịu nhiệt tốt.
-
Thích hợp cho môi trường khí Ar, N₂, O₂, C₂H₂.
-
Hiệu suất sử dụng vật liệu >80%, ít sinh bụi, ổn định trong quá trình phún xạ dài hạn.
🧪 Ứng dụng
-
Trang trí (Decorative coating): phủ vàng ánh kim, vàng hồng, đen, xanh tím cho linh kiện, đồng hồ, vòi nước, phụ kiện nội thất, điện thoại,…
-
Kỹ thuật (Functional coating): phủ chống mài mòn TiN, TiAlN, TiCN cho dao cắt, khuôn ép, chi tiết cơ khí chính xác,…
-
Optical coating: tạo lớp TiO₂, TiOₓ để điều chỉnh chiết suất trong lớp phủ quang học IR/AR.
🏭 Khí sử dụng khuyến nghị
| Khí sử dụng |
Vai trò |
Lớp phủ thu được / Màu sắc |
| Ar (Argon) |
Khí plasma chính |
Lớp Ti kim loại (bạc xám) |
| N₂ (Nitrogen) |
Khí phản ứng tạo nitride |
TiN (vàng), TiCN (tím), TiAlN (xanh tím/đen) |
| O₂ (Oxygen) |
Tạo lớp oxide |
TiO₂ (xanh lam, cầu vồng) |
| C₂H₂ (Acetylene) |
Phối khí carbon |
TiCN (tím, tím than) |
🔧 Ưu điểm của dạng ống (Rotatable Target)
-
Phân bố plasma đều, lớp phủ ổn định.
-
Giảm hao mòn cục bộ, kéo dài tuổi thọ target.
-
Nâng cao hiệu suất vật liệu, giảm chi phí vận hành.
-
Phù hợp cho cả lớp phủ trang trí và lớp phủ kỹ thuật.
-
Tương thích đa hệ thống sputtering: máy mạ PVD dạng đứng, nằm, hoặc inline.