Crom Pipe Target (Mục tiêu Cr dạng ống)
⚙️ Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn
| Thông số |
Giá trị / Phạm vi |
| Thành phần |
Cr ≥ 99.5% – 99.95% |
| Dạng |
Ống tròn (Rotatable / Pipe Target) |
| Đường kính ngoài (OD) |
125 – 150 mm |
| Đường kính trong (ID) |
100 – 120 mm |
| Chiều dài |
500 – 2500 mm |
| Mật độ |
≥ 7.1 g/cm³ |
| Nhiệt độ nóng chảy |
1,907°C |
| Độ cứng |
~240 HV |
| Độ nhám bề mặt (Ra) |
≤ 1.6 μm |
| Phương pháp liên kết |
Bonded lên ống Cu hoặc Ti |
Cr Pipe Target là vật liệu mục tiêu dạng ống (rotatable target) làm từ nguyên tố Crom (Cr) tinh khiết cao, dùng trong công nghệ phún xạ magnetron sputtering.
Khi bị ion Ar⁺ va chạm, các nguyên tử Cr bị “bắn bật” ra và bám lên bề mặt sản phẩm, tạo lớp Cr hoặc CrN có độ cứng, độ bám dính và độ phản xạ cao.
Gửi yêu cầu tư vấn
🔹 Giới thiệu sản phẩm
Cr Pipe Target (Chromium Pipe Target) là vật liệu mục tiêu dạng ống (rotatable target) được sử dụng trong công nghệ phún xạ magnetron sputtering.
Target được chế tạo từ nguyên tố Crom (Cr) tinh khiết ≥99.95%, có độ bền cơ học và độ dẫn nhiệt cao, đảm bảo quá trình phún xạ ổn định và hiệu suất phủ cao.
SHS Material Vina cung cấp Cr Pipe Target chất lượng cao, tương thích với nhiều hệ thống PVD Rotatable Cathode đến từ Trung Quốc, Hàn Quốc và Châu Âu.
⚙️ Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn
| Thông số |
Giá trị / Phạm vi |
| Thành phần |
Cr ≥ 99.5% – 99.95% |
| Dạng |
Ống tròn (Rotatable / Pipe Target) |
| Đường kính ngoài (OD) |
125 – 150 mm |
| Đường kính trong (ID) |
100 – 120 mm |
| Chiều dài |
500 – 2500 mm |
| Mật độ |
≥ 7.1 g/cm³ |
| Nhiệt độ nóng chảy |
1,907°C |
| Độ cứng |
~240 HV |
| Độ nhám bề mặt (Ra) |
≤ 1.6 μm |
| Phương pháp liên kết |
Bonded lên ống Cu hoặc Ti |
💡 Đặc điểm nổi bật
-
Hiệu suất phún xạ cao, plasma ổn định, màng phủ đồng đều.
-
Tuổi thọ cao hơn 3–5 lần so với target phẳng.
-
Tạo lớp phủ Cr hoặc CrN có độ cứng cao (1800–2500 HV), chống mài mòn, chịu nhiệt tốt.
-
Tương thích với khí Ar, N₂, O₂ để tạo các loại màng phủ khác nhau: Cr, CrN, Cr₂O₃.
-
Ít sinh bụi, hiệu suất sử dụng vật liệu >80%, tối ưu chi phí vận hành.
🧪 Ứng dụng
-
Trang trí (Decorative coating): phủ bạc, xám, đen, xám xanh cho phụ kiện, vòi nước, tay nắm, đồng hồ, chi tiết nội thất, vỏ điện thoại…
-
Kỹ thuật (Functional coating): phủ chống mài mòn CrN cho khuôn, dao cắt, trục, piston, chi tiết máy…
-
Optical & Reflective coating: làm lớp phản xạ trong màng quang học và linh kiện điện tử.
🏭 Khí sử dụng khuyến nghị
| Khí sử dụng |
Vai trò |
Lớp phủ thu được |
| Ar (Argon) |
Khí plasma chính |
Lớp Cr kim loại (bạc sáng) |
| N₂ (Nitrogen) |
Khí phản ứng |
CrN (xám bạc, xám xanh) |
| O₂ (Oxygen) |
Khí phản ứng nhẹ |
Cr₂O₃ (trắng bạc / ánh lam) |
🔧 Ưu điểm của dạng ống (Rotatable Target)
-
Quay liên tục, giúp xói mòn đều và tăng tuổi thọ target.
-
Hiệu suất sử dụng vật liệu cao, giảm hao phí.
-
Phân bố màng ổn định, đặc biệt trong hệ thống nhiều cathode song song.
-
Phù hợp cho cả lớp phủ trang trí và lớp phủ kỹ thuật.