Mô tả chi tiết

Thuyền Molybdenum (Mo Boat) là phụ kiện được chế tạo từ Molybdenum tinh khiết, dùng để chứa và nung nóng vật liệu cần bay hơi (Al, Ti, Cr, Ag, Au, oxides, v.v.) trong buồng chân không. Thiết kế thuyền giúp gom vật liệu, dẫn nhiệt hiệu quả và chịu được nhiệt độ cao trong điều kiện chân không, đảm bảo quá trình bay hơi ổn định, đều và giảm nhiễm tạp vào màng phủ.

Điểm nổi bật

• Vật liệu: Molybdenum tinh khiết (thường ≥ 99.95%) — chịu nhiệt, chịu ăn mòn trong môi trường chân không.

• Khả năng chịu nhiệt: Ổn định ở nhiệt độ cao phù hợp cho cả thermal evaporation và e-beam.

• Thiết kế đa dạng: Flat boat, V-boat, pocket boat, spiral support — phù hợp với nhiều loại vật liệu và phương pháp nung.

• Gia công chính xác: Kích thước và dung sai gia công nhỏ, dễ lắp đặt vào holder tiêu chuẩn.

• Tối ưu cho hiệu suất bay hơi: Giúp tập trung vật liệu, giảm bắn tóe và cải thiện độ đồng đều lớp phủ.

• Tùy chỉnh theo yêu cầu: Kích thước, độ dày, dạng lòng (pocket/flat) theo bản vẽ khách hàng.

Ứng dụng

• Hệ thống thermal evaporation và electron beam evaporation (E-beam).

• Quy trình PVD coating, phủ quang học (AR, IR, mirror), phủ kim loại.

• Sản xuất linh kiện điện tử, bán dẫn, cảm biến và nghiên cứu phòng thí nghiệm.

Hướng dẫn lắp đặt & bảo quản

• Lắp vào boat holder tuân theo kích thước quy định, đảm bảo tiếp xúc điện/điện trở tốt.

• Tránh để thuyền tiếp xúc không khí nóng trong thời gian dài (ngăn oxy hóa).

• Làm sạch nhẹ bằng khí trơ hoặc plasma cleaning trước khi nạp vật liệu mới.

• Khi dùng với E-beam, hạn chế splash bằng cách nạp vật liệu với mật độ phù hợp và dùng liner nếu cần.

• Bảo quản ở nơi khô ráo, đóng gói kín để tránh oxy hóa và nhiễm bẩn.