Mô tả chi tiết

Dây tóc nguồn ion (Ion Beam Filament) là linh kiện quan trọng trong nguồn ion (Ion Source) của các hệ thống mạ chân không, sputtering, và ion cleaning.
Dây tóc được chế tạo từ vonfram tinh khiết (Tungsten ≥ 99.95%), có khả năng chịu nhiệt và phát xạ electron ổn định ở nhiệt độ cao (trên 2500°C).

Khi được cấp điện, dây tóc phát ra dòng electron – các electron này được gia tốc và sử dụng để ion hóa khí trơ (thường là Argon), tạo ra chùm ion có năng lượng cao phục vụ cho:

• Làm sạch bề mặt nền (Ion Cleaning)

• Hỗ trợ phún xạ (Ion Beam Sputtering)

• Điều chỉnh năng lượng và hướng của chùm ion trong quá trình phủ

⚙️ Đặc điểm nổi bật

• Chất liệu: Vonfram (W) tinh khiết ≥ 99.95%

• Khả năng chịu nhiệt: Lên đến ~3000°C trong môi trường chân không

• Phát xạ ổn định: Độ bền cao, ít biến dạng sau nhiều chu kỳ làm việc

• Gia công chính xác: Dây quấn dạng xoắn hoặc phẳng, kích thước tùy model nguồn ion

• Lắp đặt tương thích: Dùng cho hầu hết các nguồn ion phổ biến (Common Ion Source, Kaufman-type, Veeco, Commonwealth...)

• Tuổi thọ cao: Giảm nguy cơ gãy nứt hoặc bốc hơi khi làm việc liên tục

🔬 Ứng dụng

• Ion Beam Sputtering (IBS) – phún xạ ion trong phủ quang học, bán dẫn, lớp mỏng chức năng

• Ion Source – nguồn ion trong máy PVD, CVD, hoặc hệ phân tích bề mặt (SIMS, AES)

• Ion Cleaning – làm sạch và hoạt hóa bề mặt trước khi phủ

• Thiết bị nghiên cứu phòng thí nghiệm, coating R&D

🧰 Hướng dẫn sử dụng & bảo quản

• Lắp đúng hướng cực tính và vị trí quy định trong bộ nguồn ion.

• Tránh chạm tay trực tiếp vào dây tóc (dầu mỡ có thể làm giảm tuổi thọ).

• Làm sạch buồng và điện cực trước khi thay dây mới.

• Không bật điện khi buồng chưa đạt chân không yêu cầu.

• Bảo quản nơi khô ráo, tránh ẩm và oxy hóa.