Đặc điểm nổi bật:
-
⚙️ Độ chính xác cao:
Tinh thể thạch anh dao động ở tần số chuẩn (thường 6 MHz), cho phép phát hiện thay đổi khối lượng màng phủ ở cấp độ nanomet.
-
🧩 Thiết kế bền bỉ:
Thân cảm biến được chế tạo từ thép không gỉ hoặc đồng, chịu được môi trường chân không cao và nhiệt độ lớn.
-
🔄 Tương thích linh hoạt:
Kết nối dễ dàng với các bộ điều khiển đo độ dày INFICON như XTC/3, SQM-160, IC/6, cũng như nhiều hệ thống PVD khác trên thị trường.
-
🌡️ Độ ổn định vượt trội:
Cảm biến hoạt động ổn định trong điều kiện khắc nghiệt, duy trì tín hiệu chính xác và tuổi thọ tinh thể cao.
Ứng dụng:
-
Hệ thống PVD (Physical Vapor Deposition)
-
E-beam evaporation / Ion beam coating
-
Coating quang học, coating bán dẫn, coating kim loại chính xác
-
Các buồng lắng đọng màng mỏng yêu cầu kiểm soát tốc độ và độ dày màng theo thời gian thực.
Thông số kỹ thuật tham khảo:
| Thông số |
Giá trị |
| Tần số tinh thể |
6 MHz (chuẩn công nghiệp) |
| Loại cảm biến |
Water-cooled / Air-cooled |
| Chất liệu thân |
Stainless steel / Copper |
| Giao diện kết nối |
2-pin hoặc 6-pin coaxial feedthrough |
| Dải đo |
0.1 Å – vài µm |
Thương hiệu & Xuất xứ:
Đơn vị phân phối:
SHS MATERIAL VINA CO., LTD
Chuyên cung cấp vật tư, linh kiện và phụ kiện tiêu hao cho hệ thống coating quang học và mạ PVD: