Y2O3 là gì?
Y2O3 (Yttrium Oxide – Oxit Yttri) là một hợp chất oxit của kim loại đất hiếm Yttri, có độ ổn định hóa học và nhiệt độ nóng chảy rất cao. Nhờ các đặc tính vật lý và quang học vượt trội, Y2O3 được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp công nghệ cao như:
-
Mạ phủ quang học (Optical coating)
-
Sản xuất linh kiện bán dẫn
-
Công nghiệp laser
-
Gốm kỹ thuật cao
-
Công nghệ màn hình và vật liệu phát quang
Đặc biệt, Y2O3 độ tinh khiết cao 4N (99.99%) và 5N (99.999%) là vật liệu quan trọng trong các quy trình yêu cầu kiểm soát tạp chất ở mức ppm hoặc ppb.
Thông số kỹ thuật Y2O3 độ tinh khiết cao
| Thuộc tính |
Giá trị |
| Công thức hóa học |
Y2O3 |
| Độ tinh khiết |
99.99% (4N), 99.999% (5N) |
| Dạng |
Bột, pellet, granule, hoặc target |
| Màu sắc |
Trắng |
| Nhiệt độ nóng chảy |
~2430°C |
| Mật độ |
5.01 g/cm³ |
Tùy theo ứng dụng, Y2O3 có thể được cung cấp dưới dạng bột siêu mịn, pellet cho bay hơi chân không hoặc sputtering target.
Ứng dụng của Y2O3 trong ngành mạ quang học
1. Vật liệu phủ quang học (Optical Coating)
Y2O3 là vật liệu có chỉ số khúc xạ cao và độ truyền sáng tốt, thường được sử dụng trong:
Trong công nghệ vacuum deposition như:
Y2O3 đóng vai trò là vật liệu dielectric layer, giúp tăng hiệu suất truyền sáng và độ bền của lớp phủ.
2. Ứng dụng trong ngành bán dẫn
Trong sản xuất chip và linh kiện bán dẫn, Y2O3 được sử dụng để:
-
Làm coating chống plasma trong buồng etching
-
Vật liệu phủ cho ceramic parts trong máy bán dẫn
-
Tăng khả năng chống ăn mòn plasma
Nhờ độ tinh khiết cao và độ bền hóa học, Y2O3 giúp kéo dài tuổi thọ của các linh kiện trong môi trường plasma khắc nghiệt.
3. Ứng dụng trong gốm kỹ thuật cao
Y2O3 được dùng làm phụ gia ổn định zirconia (YSZ – Yttria Stabilized Zirconia), một vật liệu gốm quan trọng trong:
YSZ có độ bền cơ học và khả năng chịu nhiệt rất cao.
4. Ứng dụng trong laser và vật liệu quang điện
Y2O3 là vật liệu nền quan trọng trong nhiều hệ laser solid-state, ví dụ:
Nhờ độ tinh khiết cao, Y2O3 giúp giảm tạp chất gây suy hao quang học.
Vì sao cần Y2O3 độ tinh khiết cao (4N, 5N)?
Trong các ngành công nghệ cao, tạp chất kim loại ở mức ppm có thể gây ra:
Vì vậy, Y2O3 4N và 5N được sản xuất với quy trình tinh luyện nghiêm ngặt để đảm bảo:
-
Hàm lượng tạp chất cực thấp
-
Độ ổn định cao trong môi trường chân không
-
Hiệu suất bay hơi ổn định trong máy coating
SHS Material Vina – Cung cấp vật liệu coating chất lượng cao
SHS Material Vina Co., Ltd chuyên cung cấp các vật liệu cho ngành vacuum coating và PVD, bao gồm:
Sản phẩm được kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt, phù hợp cho các nhà máy:
✔ Liên hệ tư vấn và báo giá
SHS Material Vina Co., Ltd
Hotline: 0799 513 333
Chúng tôi sẵn sàng hỗ trợ giải pháp vật liệu cho các hệ thống vacuum coating và optical coating.